美国HACH ULTRA (PSI)是全世界第一家也是目前最大的微粒子侦测系统供应商,1960成立至今已有40年以上的历史,旗下包括MetOne , ROYCO, HIAC, HYT四个部们,分别供应无尘室,高压气体,Hepa/Ulpa泄漏量测及中央监控系统(FMS), DIW纯水系统, 化学品, 高粘度光阻及各式油品含润滑液溶剂,真空制程设备。