CUTE-MP等离子表面处理系统真空室:Dia. 108mm × L. 250mm 气 路:标准一路气体(最多3路气体,MFC) 电 源:50kHz,100W 操作界面:全自动&手动操作(触摸屏模式) 压力监测:大气压~ 1×10-3 Torr 选配项:石英腔体/ Dia. 80mm × L. 250mm 电源功率升级(最大300W) 射频电源(13.56MHz,最高300W,包括水冷)
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