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序号 |
检测气体类型 |
分子式 |
量程 |
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1 |
可燃性气体 |
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0-10%LEL/0-100%LEL |
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2 |
氨气 |
NH3 |
0-50/100/400/1000ppm |
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3 |
砷化三氢/胂 |
AsH3 |
0-0.2ppm |
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4 |
三氯化硼 |
BCl3 |
0-6ppm |
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5 |
溴 |
BR2 |
0-0.4ppm |
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6 |
一氧化碳 |
CO |
0-100/200/500ppm |
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7 |
氯气 |
Cl2 |
0-2/5/15ppm |
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8 |
二氧化氯 |
ClO2 |
0-0.4ppm |
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9 |
硼乙烷 |
B2H6 |
0-0.4ppm |
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10 |
二氯甲硅烷 |
SiH2Cl2 |
0-10ppm |
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11 |
环氧乙烷 |
C2H4O |
0-50ppm |
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12 |
氟 |
F2 |
0-4ppm |
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13 |
锗烷 |
GeH |
0-0.8ppm |
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14 |
氢气 |
H2 |
0-1000ppm |
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15 |
溴化氢 |
HBr |
0-12ppm |
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16 |
氯化氢 |
HCl |
0-20ppm |
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17 |
氰化氢 |
HCN |
0-20ppm |
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18 |
氟化氢 |
HF |
0-12ppm |
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19 |
硫化氢 |
H2S |
0-15/20/50/100ppm |
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20 |
一氧化氮 |
NO |
0-100ppm |
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21 |
二氧化氮 |
NO2 |
0-12ppm |
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22 |
氧气 |
O2 |
0-21%V/V |
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23 |
臭氧 |
O3 |
0-4ppm |
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24 |
磷化氢 |
PH3 |
0-1.2ppm |
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25 |
硅烷 |
SiH4 |
0-20ppm |
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26 |
环氧丙烷 |
C3H6O |
0-50ppm |
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27 |
二氧化硫 |
SO2 |
0-8/15/50ppm |
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