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气体名称 |
化学式 |
范围 |
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氨 |
NH3 |
0-100PPM |
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氢化砷 |
AsH3 |
0-0.2PPM |
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三氯化硼 |
BCL3 |
0-8.0PPM |
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三氟化硼 |
BF3 |
0-8.0PPM |
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三氟化硼（低浓度的） |
BF3 |
0-2.0PPM |
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溴 |
Br2 |
0-0.4PPM |
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二氧化碳 |
CO2 |
0-2.0%VOL |
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一氧化碳 |
CO |
0-100PPM |
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氯 |
CL2 |
0-2.0PPM |
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二氧化氯 |
CLO2 |
0-0.4PPM |
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三氟化氯 |
CLF3 |
0-0.4PPM |
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硼乙烷 |
B2H6 |
0-0.4PPM |
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二氯甲硅烷 |
H2SICL2 |
0-8.0PPM |
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二氟甲烷 |
CH2F2 |
0-120PPM |
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乙硅烷 |
SI2H6 |
0-20PPM |
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氟 |
F2 |
0-4.0PPM |
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锗烷 |
GeH4 |
0-0.8PPM |
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六氟丁二烯 |
C4F6 |
0-40PPM |
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氢（爆炸下限） |
H2 |
0-100%LEL |
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氢PPM |
H2 |
0-1000PPM |
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溴化氢 |
HBr |
0-8.0PPM |
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氯化氢 |
HCL |
0-8.0PPM |
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氰化氢 |
HCN |
0-20PPM |
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氟化氢 |
HF |
0-12PPM |
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氟化氢（低浓度） |
HF |
0-2.0PPM |
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硫化氢 |
H2S |
0-40PPM |
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硫化氢（高浓度） |
H2S |
0-100PPM |
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甲烷（爆炸下限） |
CH4 |
0-100%LEL |
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甲基氟 |
CH3F |
0-60PPM |
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二氧化氮 |
NO2 |
0-12PPM |
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一氧化氮 |
NO |
0-100PPM |
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三氟化氮 |
NF3 |
0-40PPM |
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八氟环戊烯 |
C5F8 |
0-40PPM |
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氧气能力&缺氧 |
O2 |
0-25% |
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臭氧 |
O3 |
0-0.4PPM |
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磷化氢 |
PH3 |
0-1.2PPM |
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氢氧化磷 |
POCL3 |
0-0.4PPM |
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硅烷 |
SIH4 |
0-20PPM |
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硅烷（低浓度的） |
SIH4 |
0-2.0PPM |
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二氧化硫 |
SO2 |
0-8.0PPM |
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六氟化硫 |
SF6 |
0-8000PPM |
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四氟化硫 |
SF4 |
0-0.4PPM |
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正硅酸乙酯 |
TEOS |
0-40PPM |
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六氟化钨 |
WF6 |
0-12PPM |
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六氟化钨（低浓度的） |
WF6 |
0-2.0PPM |
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