SE800UV/VIS光谱椭偏仪

SE800UV/VIS光谱椭偏仪光谱范围：350 nm - 850 nm 
可选: 280 nm - 850 nm 

　　SE 800是采用快速二极管阵列探测器的高性能光谱椭偏仪，在紫外/可见光范围内兼具快速数据采集速度和全光谱范围分辨率。 

　　光谱椭偏仪SE 800适用于复杂应用，比如测量玻璃上的透明薄膜，发光体和半导体聚合物薄膜，吸收/透明基底上的多层膜，窗材料的减反射膜，先进的微电子应用比如SOI，高k值和低k值材料。各向异性样品和非均匀样品也能够被分析。 

光谱椭偏仪 SE 800 特征 
　　?步进扫描分析器工作方式，对较低光强也同样有效 
　　?消色差补偿器在整个0-360度范围内都可极准确和精确地测量出椭偏角度。能够分析偏振因数和补偿退偏效应 
　　?起偏器跟踪技术可以为每一种应用都提供最高的测量精度 
　　?自动对准镜用于样品倾斜度调节，显微镜用于样品高度调节，能够提供最高的样品对准精度 
　　?高稳定性的操作，所有硬件操作由其内置的微控制器分别控制，基于Windows XP系统的最新型电脑 
　　?SpectraRay II - 功能强大的光谱椭偏仪软件 

主要应用 
　　?测量单层膜或多层膜的厚度和折射率 
　　?在紫外-可见光波段测量材料的光学性质 
　　?测量厚度梯度 
　　?测量膜表面和界面间的粗糙程度 
　　?确定材料成分 
　　?分析薄金属膜 
　　?分析各向异性材料和薄膜 
　　?CER - 结合椭偏测量和反射测量 
　　?CET - 结合椭偏测量和透射测量 

选项 
　　?紫外扩展选项 280 - 850 nm 
　　?计算机控制角度计，40o-90o, 可选 20o-90o ，精度0.01o 
　　?手动x-y载物台，150 mm行程 
　　?电机驱动x-y载物台，行程50 mm - 200 mm 
　　?MWAFER- SENTECH地貌图扫描软件 
　　?透射测量样品夹具 
　　?摄象头选项，用于样品对准和表面检测 
　　?液体膜测量单元 
　　?反射式膜厚仪FTPadvanced, 光斑直径80微米 
　　?微细光斑选项，光斑直径200微米，可选: 100微米 
　　?自动对焦选项，结合地貌图扫描选项 
　　?SENTECH标准样片 
　　?附加许可，使SpectrRay II软件可以用于多台电脑 

光谱椭偏仪软件SpectraRay II 
　　基于windows系统的 SpectraRay II 操作软件包括一个全面的的建模、模拟和拟合软件包，操作向导，自动输出结果，单键操作，使得软件界面友好并且椭偏仪操作简易。