分享仪器当开发这种新的TERPS技术时，我们主要是为了提供一种具有最高精度和稳定性的传感器，可以用于较大的压力和温度范围；并且具有坚固、可靠的包装，可用于恶劣环境。
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高精度谐振式压力传感器 RPS/DPS 8000
与现有技术相比，TERPS（沟槽刻蚀谐振式压力传感器）可提供更高的性能等级，是具有最高的精度和稳定性的传感器。这种传感器还可大幅提高谐振压力技术（RPT）传感器通常具有的压力范围，并且具有极为坚固的包装，适用于恶劣的环境。
此外， RPS/DPS 8000产品线提供了各种压力和电气接头，这样就可以灵活地进行定制，广泛用于从航空航天到海底工程以及过程工程到工业仪器等领域。
? 高精度，±0.01% FS（在补偿温度范围内）
?高度稳定，±100 ppm FS/年
? 压力范围从2 bar（30 psi）至 70 bar（1000 psi），绝对压力
?温度范围大， -40 °C 至+85 °C（-40 °F至185 °F）
? 采用介质隔离结构，适用于恶劣环境
? 多输出配置，TTL和二极管，RS-232和RS-485
当开发这种新的TERPS技术时，我们主要是为了提供一种具有最高精度和稳定性的传感器，可以用于较大的压力和温度范围；并且具有坚固、可靠的包装，可用于恶劣环境。
我们在制造TERPS谐振器元件时充分利用了硅的力学性能。
为了优化和平衡谐振器的设计，我们采用了深度反应离子刻蚀（DRIE）硅技工技术。 DRIE可以设计具有复杂和多变几何形状的结构。
精度为0.01% FS（100 ppm）
稳定性为0.01% FS/年（100 pp）
深度反应离子刻蚀（DRIE）可以设计具有复杂和多变几何形状的结构，并且可以使谐振器位于水平面上。 谐振器必须具有足够的刚度，以将能量损失降至最低，并采用油浸绝缘结构。
全焊TERPS模块可以使顶级设计工程师利用标准材料包装传感器。 这种产品封装在316L不锈钢模块中，起调节作用的电子设备位于25mm的主体管中。它提供一系列压力和电气接头。
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