真空泵是用某种方式在某一封闭空间中产生、改进和维持真空的装置。

　　真空泵可以定义为：操纵机器、物理、化学或物理化学的方式对被抽容器举行抽气而的到真空的器件或配置。随着真空应用的生长，真空泵的种类已生长了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到十-1二Pa以上的超高真空范围。

　　由于真空应用部分所涉及的事变压力的范围很宽，因此任何一种范例的真空泵都小概完全实用于全部的事变压力范围，只可以根据不同的事变压力范围和不同的事变要求，利用不同范例的真空泵。为了利用方便和种种真空工艺进程的必要，偶尔将种种真空泵按其性可以要求组合起来，以机组型式应用。

　　通常操纵机器举动(转动或滑动)以的到真空的泵，称为机器真空泵。机器真空泵按其事变道理及布局特点分述如下：

　　一、变容真空泵

　　它是操纵泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以到达抽气目标的真空泵。气体在排挤泵腔前被压缩。这种泵分为来去式及旋转式两种。

　　1、往复式真空泵

　　操纵泵腔内活塞来去举动，将气体吸入、压缩并排挤。又称为活塞式真空泵。

　　2、旋片式真空泵

　　操纵泵腔内转子零件的旋转举动将气体吸入、压缩并排挤。它大致有如下几种分类：

　　1)、油封式真空泵：它是操纵真空泵油密封泵内各举动零件之间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋变化容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它重要包罗旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。

　　2)、液环真空泵：将带有多叶片的转子偏爱装在泵壳内。当它旋转时，把事变液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋变化容吸排气腔。事变液体通常为水或油，以是亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。　　3)、干式真空泵：它是一种泵内不消油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不必要事变液体，因此，实用于半导体行业、化学产业、制药产业及食品行业等必要无油干净真空情况的工艺场合。　　4)、罗茨真空泵：　　泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持肯定的间隙。

　　二、动量传输泵

　　它寄托高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，负气体连续不断地从泵的入口传输到出口。

　　分子真空泵

　　它是操纵高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之的到定向速率，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

　　这种泵详细可分为：

　　1)、牵引分子泵气体分子与高速举动的转子相碰撞而的到动量，被驱送到泵的出口。

　　2)、涡轮分子泵：靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互共同来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下事变。

　　3)、复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。