北京中仪提供四探针测试仪使用方法，满足你不同地点的使用需求。
·数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备
·该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器
·仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果
·仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点
·本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试
| 电阻率 | 0.001～200Ω.cm(可扩展) |
| 方块电阻 | 0.01～2000Ω/□(可扩展) |
| 电导率 | 0.005～1000 s/cm |
| 电阻 | 0.001～200Ω.cm |
| 可测晶片直径小尺寸 | 140mmX150mm配S-2A型测试台 |
| 可测晶片直径标准尺寸 | 200mmX200mm配S-2B型测试台 |
| 可测晶片直径标准尺寸 | 400mmX500mm配S-2C型测试台 |
| 恒流源电流量程 | 0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调 |
| 数字电压表量程及表示形式 | 000.00～199.99mV，分辨力：10μV |
| 输入阻抗 | >1000MΩ |
| 精度 | ±0.1% |
| 显示 | 四位半红色发光管数字显示，极性、超量程自动显示 |
| 四探针探头基本指标间距 | 1±0.01mm |
| 针间绝缘电阻 | ≥1000MΩ |
| 机械游移率 | ≤0.3% |
| 探针 | 碳化钨或高速钢Ф0.5mm |
| 探针压力 | 5～16 牛顿(总力),四探针探头应用参数(见探头附带的合格证) |
| 模拟电阻测量相对误差( 按JJG508-87进行) | 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
| 整机测量最大相对误差 (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试) | ≤±5% |
| 整机测量标准不确定度 | ≤5% |
| 计算机通讯接口 | 并口 |
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