名称 |
内容 | ||
测量范围 |
Z轴(垂直) |
160μm | |
X轴(水平) |
17.5mm | ||
分辨率 |
Z轴(垂直) |
0.01μm/±20μm | |
0.02μm/±40μm | |||
0.04μm/±80μm | |||
测量项目 |
参数 |
Ra、Rq、Rz、Rt、RP、Rv、RS、RSm、Rz(JIS)、Ry(JIS)、Rsk、R3z、Rmsx、Rpc、Rmr、Rp、Rpk、Rvk、Mrl、Mr2、V0 | |
标准 |
ISO、ANSI、DIN、JIS | ||
滤波器 |
RC,PC-RC,Gauss,D-P | ||
取样长度(lr) |
0.25,0.8,2.5mm | ||
评定长度(ln) |
Ln= lr×n n=5 | ||
传感器 |
测量原理 |
位移式差动电感 | |
触针 |
天然金刚石,90锥角,5μm针尖半径 | ||
测力 |
<4mN | ||
导头 |
红宝石,滑行方向半径40mm | ||
滑行速度 |
lr=0.25, Vt=0.135mm/s | ||
lr=0.8, Vt=0. 5mm/s | |||
lr=2. 5, Vt=1mm/s | |||
返回 Vt=1mm/s | |||
示值误差 |
不大于±10% | ||
示值变动性 |
不大于6% | ||
电源 |
内置锂离子充电电池,用8.4V,800mA充电器充电 | ||
外形尺寸 |
119×47×65mm | ||
重量 |
约380g | ||