型号 |
SURFCOM 480A | |
测量范围 |
X轴(横向) |
100mm |
Y轴(纵向) |
800mm(测量范围/分辩率:800mm/10nm、80mm/1nm、8mm/0.1nm) | |
直线度精度 |
(0.05+1.5L/1000) mm =测量长度(mm) | |
分析项目 |
使用规格 |
JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,ISO-1984.DIN-1990,ASME-1995,CNOMO规格 |
参数 |
Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax.Rt,Rz.J.R3z.Sm.S.R△q.Rla.Rlq.
TLL T A. lr.Pc.Rsk.Rku.Rk.Rpk.Rvk.Mr1.Mr2.Vo.K.tp.Rmr.tp2.Rmr2.Rdc
AVH.Hmax.Hmin.AREA.NCRX.R.Rx.AR.NR.CPM.SR.SAR | |
评价曲线 |
剖面曲线、粗糙度曲线、滤波波纹度曲线、滤波中心线波纹度曲线、滚动圆波纹度曲线、滚动圆中心线波纹度曲线、DIN4776特殊曲线、粗糙度中心曲线(Motif)、波纹度中心曲线(Motif)、包络波纹度曲线 | |
表面特性图表 |
负荷曲线、功率谱曲线图、振幅分布曲线 | |
倾斜补偿方式 |
直线补偿、R面补偿、前半补偿、后半补偿、两端补偿、花键补偿、(直线、R面、两端补偿可以在任意范围内) | |
倍率 |
纵倍率(Z轴) |
50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、100K、200K*、500K*倍、自动 |
横倍(X轴) |
1、2、5、10、20、50、100、200、500、1K、2K、自动 | |
滤波器的种类 |
标准型滤波器2RC、相位补偿型滤波器2RC、相位补偿型滤波器(高斯滤波器) | |
测量速度 |
0.03、0.06、0.1.5、0.30 、0.60、 1.5 、3、 6mm/s(4速) | |
传感器 |
前端半径2mm、材质为金刚石、测量力为0.75mN | |
先进的功能 |
测量AI |
装载有测量AI功能、即使初学者也可容易掌握 |
段差分析功能 |
最适于测量半导体零部件的膜厚及面积 | |
PC卡 |
输出文本文件、将数据传送至电脑 | |
标准配件 |
标准片E-MC-S24B、记录纸(E-CH-S21A)、触摸笔(E-MA-S54A)操作说明书 | |
各要素 |
电源 |
AC100~240V±10%、50/60Hz、90VA |
设置尺寸 |
1000(W)*800(D)*750(H)mm | |
质量 |
105Kg |