830/840气体质量流量计和调节仪
830质量流量计和840 质量流量调节仪是为对0~10sccm到0~200scfm内的空气和过程气体进行精确测量和控制而设计的。因为所用材料为316不锈钢，所以该装置适合于大多数清洁气体，包括腐蚀性气体的测量。
特点
● 直接监测质量流量，无需压力和温度传感
● 专利的直传感器管道使清洁简单且缩短了维修停用期
● 铂传感器消除了零漂，确保长期稳定
● 快速响应控制阀响应时间为1秒，并且可以在较大的差压范围内工作
● 基本标准标定确保了起始点准确性和NIST可追踪性
● 外壳，过程连接，输入/输出和控制电子元件供选范围很大
● CE认证
● 获中华人民共和国计量器具批准证书（CPA）
参数
气体：所有清洁气体；订货时具体指出。
质量流量：0~10sccm 到0~5600slpm；规定的流量是760 毫米汞柱、21OC（70OF）条件下的氮气相应流量；也可提供以其它单位（即：scfh 或nm3/h）表示的流量范围。
气体压力：最大 1000psig（69barg），仅低流量流体；
最大 500psig（34barg），30psig（2barg）最佳。
气体＆环境温度：32ºF 到122ºF（0ºC 到50℃）；要求较高温度，订货时需特殊指出。
防渗漏功能：最大为 5×10-9atm cc/sec(氦气)。
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